Bessere AuflösungsnormaleFür spektroskopische und mikroskopische Messverfahren

Um die Beschaffenheit von Oberflächen mit verschiedenen Messverfahren zu charakterisieren, werden vielfältige Methoden genutzt. Um eine hohe Ortsauflösung in hoher Güte zu erreichen, benötigt man eine ausgesprochen exakte Kalibrierung.

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