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Bessere AuflösungsnormaleFür spektroskopische und mikroskopische Messverfahren
Um die Beschaffenheit von Oberflächen mit verschiedenen Messverfahren zu charakterisieren, werden vielfältige Methoden genutzt. Um eine hohe Ortsauflösung in hoher Güte zu erreichen, benötigt man eine ausgesprochen exakte Kalibrierung.
Der Raman-Chip der PTB besitzt eine nahezu topografiefreie Silicium-Oberfläche und Gold-Palladium-Muster. Er eignet sich zur Kalibrierung von Raman-Mikroskopen. (Foto: PTB)