Glimmentladungspektrometer GD PROFILER
Im tiefen UV-Bereich
Die Glimmentladungspektrometer (GD) von Horiba Scientific benutzen seit kurzem neueste holographische Gitter, deren Wirkungsgrad für den tiefen UV-Bereich optimiert worden ist. Neben den normalen Elementen kann nun auch Wasserstoff bei 121 nm oder Sauerstoff bei 130 nm im Sub-ppm-Bereich in vielen verschiedenen Materialien gemessen werden. Beide Elemente lassen sich sowohl in metallischen, also leitenden, als auch in nicht-leitenden Schichten wie z.B. Polymeren, Keramiken oder Oxidschichten analysieren. Die optische Auflösung der GD-PROFILER-Spektrometer ermöglicht sogar die Detektion von Isotopen wie Deuterium, dessen Emissionslinie in direkter Nachbarschaft zur Wasserstoffemissionslinie liegt.
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