Materialprüfung

Glass Wafer Inspection System

EVT hat das Glass Wafer Inspection System(GWI) System speziell entwickelt, um Fehler auf Wafern in einem frühen Stadium in der Produktion zu erkennen.

Das System basiert auf einer hochauflösenden Smart-Kamera, welche ein Bild vom Wafer aufnimmt. Um die geforderte Genauigkeit in der Fehlererkennung zu erreichen, wird ein 5-MPixel-Sensor verwendet. Selbstverständlich stehen auch höhere Auflösungen zur Verfügung.

Das komplette System besteht aus einer schwarzen Aluminium-Struktur. Eine hochleistungsfähige LED-Beleuchtung erhellt den Wafer von der Unterseite. Abhängig von der Größe des zu inspizierenden Wafers variiert auch der Durchmesser der Aussparung für die Beleuchtung. Die Kommunikation zur Prüfeinheit kann entweder via Ethernet oder RS 232 erfolgen und optional auch via USB.

Die Bildverarbeitung erfolgt komplett in der Smart-Kamera durch die ARM Cortex A8 CPU mit 1 GHz und der zusätzlichen 800 MHz DSP. Das Bild des Wafers wird aufgenommen und sofort in der Kamera ausgewertet. Die Ergebnisdaten und Bilder werden zur SPS übertragen. Zusätzlich gibt es die Möglichkeit, ein Display direkt an der Kamera anzuschließen, um die Ergebnisse an einem Monitor zu sehen. Zur Durchführung des Auswerteprozesses sind Ethernet, RS 232 und Power I/O Anschlüsse vorhanden.

Das System beruht auf einem 5-MPixel-CMOS-Sensor oder aber einem CCD-Sensor im selben Gehäuse. Mit einem CCD-Sensor sind weitere Optionen verfügbar, welche interessant sind, um andere Fehler als in diese Dokumentation beschrieben zu erkennen.

Das GWI System ist basierend auf einem Windows-PC programmiert. Nach der Programmierung wird das System vom PC getrennt und die Kommunikation zum System erfolgt anhand eines Kommunikationsprotokolls.

Das dazugehörige GWIP wurde für die Analyse von Glaswafern, um Fehler an deren Oberfläche zu erkennen, entwickelt. Das Programm kann darüber hinaus einfach für diverse Defekte angepasst werden, solange sie im Bild erkannt werden können.

Das GWI System beinhaltet die Smart-Kamera, die Software EyeVision und dazugehörige Kabel, um das System mit dem Hauptrahmen oder der SPS zu verbinden. Dazu gibt es einige Programme, um die Ergebnisse der Auswertung an einem Windows-System zu visualisieren. Und zusätzlich gibt es die Möglichkeit, das GWI direkt an einen VGA-Monitor anzuschließen, um den aktuellen Status und Auswerteergebnisse anzuzeigen.

Die Software beruht auf der EyeVision 2.6 R036 LTS (Long Term Support) Version. Diese Version wird ersetzt mit der neuen Generation, der EyeVision 3.0 Version, welche auch asiatische Sprachen unterstützt und anderen neuen Funktionen. Mit der nächsten Software Generation wird das Einlernen von Prüfprogrammen auch mit Linux-Systemen möglich. Weitere Infos unter http://www.evt-web.com.

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