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FRT sieht SEMI-Trends bestätigt

SEMI, der internationale Branchenverband der Halbleiterindustrie, meldet deutlich gestiegene Umsätze in den ersten Monaten 2010. Diesen Trend bestätigt auch der Spezialist für Multisensor-Oberflächenvermessung und Wafer-Metrologie, Fries Research & Technology (FRT, www.frt-gmbh.com). "Der Nachfrageanstieg und die weitere Technologieentwicklung treiben unser Geschäft mit automatischen Systemen für die Produktionskontrolle deutlich an", so Geschäftsführer Dr. Thomas Fries.

Die weltweite Halbleiterproduktion und ihre Zulieferer beobachten nach Krise und Rückgang momentan wieder eine deutliche Belebung. Die Umsätze im ersten Quartal 2010 sind demnach im Vergleich zum Vorjahreszeitraum um 142 % auf 7,46 Mrd. US-Dollar angestiegen (was einem sequenziellen Wachstum von 32 % entspricht). Noch stärker legte der Auftragseingang zu, der im Jahresvergleich um 484 % auf 9,41 Mrd. US-Dollar explodiert sind. "Wir rechnen mit weiteren Investitionen in Produktionstechnik, denn mehrere neue Fabs für halbleiterbasierte Produkte befinden sich momentan im Bau, um die hohe Nachfrage zu bedienen", so Dr. Thomas Fries.

FRT beliefert eine zunehmende Anzahl führender Hersteller aus der Halbleiterindustrie und verwandten Branchen mit manuellen und automatischen Multisensor-Messgeräten. Im Vergleich zum Vorjahreszeitraum konnte das Unternehmen die Auftragseingänge binnen neun Monaten mehr als verdoppeln. Entscheidend für diesen Erfolg sind vor allem zwei Faktoren: Der im letzten Jahr intensiv betriebene Vertriebs- und Servicenetzausbau in Asien mit wachsenden Märkten in China, Taiwan und Südkorea sowie die gezielte Marktdurchdringung mit speziellen FRT-Lösungen für Hersteller von Halbleiterprodukten.

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Hierzu zählen auch die automatischen Wafer-Inspektionsanlagen der Serie FRT MFE (Metrology for Frontend). Dank Wafererkennung und robotergestütztem Handling arbeiten die Systeme eigenständig und ohne Bedienereingriff. Industriekonforme Schnittstellen und optionale EFEM-Technologie ermöglichen die nahtlose Integration der Anlagen in den Wafer-Produktionsprozess. Für die verschiedenen Stufen der Wafer-Produktion hält FRT standardisierte Metrologie-Pakete bereit. Je nach Anwendung wird z.B. die Wafer-Dickenvariation nach SEMI-Norm bestimmt oder es werden Messungen der Schichtdicke, Rauheit und Kontur durchgeführt - mit hervorragender Präzision im Mikro- und Nanometerbereich.

"Wir haben in diesem Markt den richtigen Riecher gehabt", freut sich Fries über die erfolgreiche strategische und technologische Ausrichtung des Unternehmens.

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