Messabläufe programmieren und automatisch kalibrieren
Massenspektrometer für Forschung und Industrie
Pfeiffer Vacuum bringt mit "HiQuad Neo" ein Massenspektrometer auf den Markt, mit dem das Unternehmen Leistung, Flexibilität und einfache Bedienung vereinen möchte.
Leistungsmerkmale und technische Daten
Das Massenspektrometer erreicht laut Hersteller eine Messgeschwindigkeit von bis zu 125 μs/u. Es zeichne sich durch eine sehr gute Empfindlichkeit und einen großen dynamischen Bereich aus.
Anpassungsfähigkeit an verschiedene Anwendungen
Je nach Anwendung können unterschiedliche Massenbereiche, Stabdurchmesser, Ionenquellen, Detektoren, Schnittstellen und Kabellängen ausgewählt werden. Mit diesen Eigenschaften sei das Massenspektrometer für Anwendungen in Forschung und Entwicklung, Integration in Analysesysteme sowie Sauberkeitsverifizierungen für die EUV-Lithografie geeignet.
Modernisierung bestehender Systeme
Geräte der Vorgängergeneration können auf den neuesten technologischen Stand des Massenspektrometers gebracht werden. Die Verwendung einiger vorhandener Komponenten, wie beispielsweise des Analysators, sei möglich. Dies reduziere Kosten und Abfall.
Benutzerfreundliche Software und Automatisierung
Mit Hilfe der "PV MassSpec"-Software lasse sich das Massenspektrometer einfach bedienen. Sie biete eine übersichtliche und benutzerfreundliche Plattform zur Aufnahme und Darstellung von Messdaten sowie von Parametersätzen.
Mit dem integrierten Sequenzer können komplette Messabläufe einfach und automatisiert programmiert werden und Lecksuche und Vakuumdiagnose durchgeführt werden. Darüber hinaus ermögliche die Software automatisiertes Kalibrieren und Tunen.
Die Definition von Messrezepten sei einfach, eine Verknüpfung der massenspektrometrischen Daten mit externen Signalen möglich. Alternativ könne direkt über die Ethernet-Schnittstelle (via OPC-UA) kommuniziert werden.
Quelle: Pfeiffer Vacuum
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