TagungsberichtGase-Workshop in Stuttgart
Anlagen – Komponenten – Sicherheit – Reinstgase-Regelung
An der Universität Stuttgart gibt es neben der aktuellen Gründungsberatung für neue Produkt-Ideen und deren technisch-wirtschaftliche Umsetzung eine weitere aktive Gruppe – u. a. Prof. Dr. P. Michler, Dr. E. Jetter, E. Kohler –, die im Rahmen des Transferzentrums Halbleitertechnologie nun schon zum vierten Mal zum jährlichen Gase-Workshop einluden.
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Bild 3: Gekammerte Dichtungen für Druckminderer – wenig bekannt, aber verfügbar.