Richtlinienreihe VDI 2083 erweitert
Messungen und Prüfungen in Reinräumen
Vor der Inbetriebnahme oder zur Überwachung: Die neue Richtlinie VDI 2083 Blatt 3 beschreibt Verfahren zum Bestimmen der Partikelkonzentration in Reinräumen und zugehörigen Bereichen mit konkreten Hinweisen zum Ablauf der Messungen und zur Dokumentation.
Von der Fertigung von Halbleitern über Produktherstellung für medizinischen Einsatz bis hin zu bestimmten Forschungsbereichen müssen Räume mit kontrollierter Reinheit genutzt werden. Die Partikelkonzentrationen in der Luft, am Arbeitsplatz und in den Prozessmedien müssen dabei immer wieder gemessen werden, um die fortdauernde Reinheit des Raums zu gewährleisten. Die Richtlinienreihe VDI 2083 enthält die nötigen Informationen zu den Aufgaben und Maßnahmen der Reinraumtechnik. Die beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet. Sie richtet sich speziell an Personen, die für die Messung und Qualitätswahrung in Reinräumen verantwortlich sind. Die Reihe enthält nötige Daten für die Auswahl von Methoden und Parametern und gibt auch Hinweise für etwaige Abweichungen, die zulässig oder notwendig sein können. Die neue Richtlinie VDI 2083 Blatt 3 beschreibt Messverfahren für Reinräume und zugehörige Bereiche, die bei der Übergabe, im Rahmen der Qualifizierung von Neuanlagen, der Routinekontrolle und der laufenden Überwachung eingesetzt werden.
Messmethoden und Dokumentation
VDI 2083 Blatt 3 gilt für erstmalige und einmalige Messungen sowie die fortlaufende oder periodische Überwachung. Die spezifizierten Methoden sind für die Übergabe von reinraumtechnischen Anlagen sowie für die Durchführung von Routine- und Überwachungsmessungen nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen und sollen anwenderspezifische Verfahren ersetzen. Die Richtlinie gilt für Partikel mit einer Größe ab 100 nm. VDI 2083 Blatt 3 beinhaltet konkrete Hinweise zum Ablauf der Messungen, angefangen bei der Sichtprüfung über Methoden wie die Filterleckprüfung, das Bestimmen der Druckdifferenz und den sich aus diesen und weiteren Verfahren ableitenden Klassifizierungen und Einordnungen. Die Richtlinie informiert zudem über Art und Umfang der Dokumentation und definiert Mindestanforderungen an das zu erstellende Messprotokoll.
Herausgeber der VDI 2083 Blatt 3 „Reinraumtechnik – Messtechnik“ ist die VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik (GBG). Die Richtlinie ist im August 2021 als Entwurf erschienen und kann beim Beuth Verlag bestellt werden. Bestellung und Informationen sind möglich unter: www.vdi.de/2083 oder www.beuth.de.
VDI-Richtlinien können auch in vielen öffentlichen Auslegestellen eingesehen werden. Die Möglichkeit zur Mitgestaltung der Richtlinie durch Stellungnahmen bestehen durch Nutzung des elektronischen Einspruchsportals oder durch schriftliche Mitteilung an die herausgebende Gesellschaft an die Adresse: [email protected]. Die Einspruchsfrist endet am 31.10.2021.
Quelle: VDI Verein Deutscher Ingenieure e. V.
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