Prüf-/Messtechnik

Sensorarrays für

Das CiS Institut für Mikrosensorik entwickelt und fertigt Sensorsysteme und die dafür benötigten Komponenten für kundenspezifische Anwendungen. Die Systeme arbeiten nach optischen, kapazitiven und piezoresistiven Wirkprinzipien. Für den Einsatz in der Bio­analytik beispielsweise wurden am CiS Mikrosensoren zur Impedanzmessung entwickelt. Mit ihnen kann der Anwender Mikroorganismen, Antikörper und andere mikroskopisch kleine Strukturen nachweisen. Die Silicium-basierten, monolithischen Streufeld-Mikrosensoren sind nur wenige Quadratmillimeter groß und besitzen eine chemisch inerte Oberfläche. Für komplexe Detektionsaufgaben können die Sensoren auch zu Arrays gruppiert werden.

Ein anderes Sensormodul des CiS stellt das Produkt Mores dar. Dessen Photodioden registrieren Wechselwirkungen des von LEDs ausgestrahlten Lichtes mit den zu detektierenden Substanzen, Partikeln, Mikroorganismen etc. Dabei lassen sich unterschiedliche optische Messprinzipien wie Reflexion, Remission, Lichtstreuung oder auch Fluoreszenz anwenden. Der komplette Sensor ist nur 8 × 8 mm groß und der Wellenlängenbereich der LEDs reicht von 450...890 nm. Die spektrale Empfindlichkeit beträgt 0,55 A/W bei 850 nm. Für das optische Übersprechen bei 640 nm gibt CiS einen Wert von unter 10-3 an.

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