Turbopumpen HiMag

Magnetgelagerte Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik

Pfeiffer Vacuum hat die Reihe der magnetgelagerten Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik durch die HiMag 3400 erweitert. Die HiMag 2400 und die HiMag 3400 zeichnen sich durch ein besonders hohes Saugvermögen, eine hohe Kompression und einen hohen Gasdurchsatz aus.

(Pfeiffer Vacuum Pressebild)

Die Schutzklasse IP 54 macht die Pumpen besonders robust und somit industrietauglich. Sie sind vor Staub und Spritzwasser geschützt. Neben industriellen Anwendungen findet die HiMag bei Beschichtungsprozessen, in Forschung & Entwicklung und der Halbleiterindustrie ihren Einsatz. Da die hohe Vorvakuumverträglichkeit ohne Holweck- oder Gaedestufe erreicht wird, ist der Einsatz auch in kritischen Prozessen (Partikelbelastung, hohe Gaslasten, korrosive Gase) sichergestellt.

Eine permanente Rotorüberwachung über Sensorik unterstützt den stabilen Betrieb der Pumpen in jedem Betriebszustand. Zum zuverlässigen Betrieb trägt auch die Wasserkühlung bei, die die Elektronik optimal temperiert. Die Pumpen sind vibrationsarm und damit in Applikationen einsetzbar, in denen geringste Vibrationen im niedrigen Frequenzbereich gefordert werden. Die Magnetlagerung macht die Pumpen wartungsfrei.

Die HiMag verfügt über eine integrierte Antriebselektronik. Eine aufwendige Verkabelung und der andernfalls notwendige Platz im Schaltschrank entfallen. Das kombinierte Flut- und Sperrgasventil ermöglicht das Stillsetzen der Pumpen im Bruchteil der Zeit herkömmlicher magnetgelagerter Turbopumpen. Es erlaubt zusätzlich die zuverlässige Steuerung von Sperrgas im Betrieb mit korrosiven oder aggressiven Medien. Durch die Integration entfallen zusätzliche Kabel.

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