Für hochaufgelöste 3D-Bilder

Elektronenmikroskop

Das FIB-SEM AURIGA Compact ermöglicht hochaufgelöste 3D-Bilder und -Analysen und erlaubt so eine präzise Materialbearbeitung. Anwendung findet AURIGA Compact bei der 3D-Analyse und -Abbildung, der TEM-Lamellen-Präparation sowie in der Materialbearbeitung und Nanostrukturierung.

Das AURIGA Compact bietet eine hohe Auflösung auch bei niedrigen Beschleunigungsspannungen. Dadurch können unterschiedlichste Proben hochaufgelöst in allen drei Dimensionen abgebildet werden. Mittels der optionalen Ladungsträger-Kompensation können auch nichtleitende und sich aufladende Proben artefaktfrei dargestellt werden. Zusätzlich zur Detektion von Sekundärelektronen (SE), die für einen hohen Topografiekontrast sorgt, können Rückstreuelektronen energieselektiv detektiert werden. Dadurch entsteht ein sehr guter Materialkontrast.

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