Laser-Scanning-Mikroskop LEXT OLS4000

Hochpräzise 3-D-Oberflächenmessung

Mit dem neuen konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop LEXT OLS4000 von Olympus lassen sich jetzt Flanken bis zu einer Steilheit von 85° messen. Ein größerer optischer Zoom und eine übersichtliche Navigation sind weitere Features. Damit können selbst die komplexesten Oberflächentopologien aufgenommen und analysiert werden. Ermöglicht wird dies über einen größeren und schnelleren MEMS-Scannerspiegel sowie die Zweifach-Pinhole-Technologie. Während der größere Spiegel für eine ausgezeichnete optische Qualität sorgt, wird die benötigte Zeit zur Erstellung des 3-D-Bildes einer Probe um die Hälfte reduziert. Der 405-nm-Laser und das Zweifach-Pinhole arbeiten simultan. Dadurch ist sichergestellt, dass das System eine maximale Auflösung und Schärfe liefert.

Die neuartige Linienabtastfunktion des LEXT erlaubt optische Messungen der Oberflächenrauigkeit nach denselben internationalen Standards wie bei Systemen mit Auslegern. Der innovative Z-Antrieb ermöglicht sehr präzise und reproduzierbare 3-D-Messungen von Stufenhöhen mit einer Auflösung von unter 1 nm.

Die komplett überarbeitete Software macht selbst komplexe optische Messverfahren jetzt allen Anwendern zugänglich. So wird am Monitor neben dem Hauptbild ein Übersichtsfenster der gesamten Probe angezeigt, um die Navigation und Orientierung zu erleichtern.

Das unabhängige und zu den weltweit führenden Instituten für die Weiterentwicklung der Solarzellentechnologie gehörende ISC setzt das LEXT OLS4000 bereits erfolgreich ein. So können im ISC mit dem neuen Mikroskopiesystem Oberflächenstrukturen der Silizium-Wafer oder auch feinste Leiterbahnen effizient dreidimensional vermessen und Bearbeitungsverfahren optimiert werden.

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