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Plangitterspektrometer PGS
Plangitterspektrometer PGS
Die PGS Module zeichnen sich durch eine spezielle Kombination von Kollimator- und Fokussierlinse mit einem Plangitter aus. Alle Einheiten sind wie auch bei den MMS- und MCS-Modulen von Carl Zeiss fest miteinander verklebt und deshalb thermisch stabil, sehr robust und kompakt.
Sie zeichnen sich aus durch eine hohe Wellenlängenstabilität und hervorragende Wellenlängengenauigkeit. Eingesetzt werden können die PGS-Module bei allen Anwendungen im NIR-Bereich. Aufgrund ihrer höheren Auflösung sind sie für Schichtdickenmessungen an dickeren Schichten im Halbleiterbereich interessant.
Ein weiterer Vorteil der neuen Plangitterspektrometer für den NIR-Bereich ist das gute Preis-Leistungsverhältnis.
Die PGS-Module sind in zwei Ausführungen erhältlich:
einmal als PGS 1.7 für den Wellenlängenbereich von 960 nm bis 1690 nm, InGaAs Detektor mit 512 Pixel, Auflösung 5 nm und zum Anderen als PGS 2.2 für den Wellenlängenbereich von 1100 nm bis 2200 nm, InGaAs Detektor mit 256 Pixel, Auflösung 11 nm.
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