Entwicklung der EUV-Lithographie
Deutscher Zukunftspreis 2020 an Team von Zeiss, Trumpf und Fraunhofer IOF
Das Team der Zeiss Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) wurde mit dem Preis des Bundespräsidenten für Technik und Innovation für die Entwicklung der EUV-Lithographie gewürdigt.
Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier zeichnete am Mittwoch in einer feierlichen Zeremonie das Team der Zeiss Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 aus. Die Jury würdigte damit Dr. Peter Kürz, Zeiss, Dr. Michael Kösters, Trumpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing, und Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena, für ihren wesentlichen Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie.
„Wir freuen uns über den Deutschen Zukunftspreis und sind sehr stolz auf das Team, das hinter der außerordentlichen Entwicklungsleistung der EUV-Technologie steht“, so Dr. Karl Lamprecht, Vorstandsvorsitzender der Zeiss Gruppe. „Gleichzeitig ist der Preis und die doppelte Nominierung eine schöne Bestätigung der Innovationskraft unseres Unternehmens, die den wirtschaftlichen und gesellschaftlichen Fortschritt gleichermaßen fördert.“
Der Bundespräsident ehrt mit dem Preis Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler für herausragende technische, ingenieur- und naturwissenschaftliche Leistungen, die zu anwendungsreifen Produkten führen. Er ist mit 250 000 Euro dotiert. Neben der wissenschaftlichen Exzellenz ist auch ein klar erkennbarer Nutzen für die Gesellschaft, die Umwelt und für die Wirtschaft kennzeichnend für die Preisträger-Projekte.
EUV steht für „extrem ultraviolett“, also Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Mit dieser Technologie lassen sich in diesem und dem nächsten Jahrzehnt stetig leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips herstellen. Diese bilden die Basis für Autonomes Fahren, 5G, Künstliche Intelligenz und viele weitere neue Anwendungen, die heute noch nicht vorstellbar sind.
Zeiss stellte als erstes Unternehmen in der Geschichte des Deutschen Zukunftspreises, der seit 1997 vergeben wird, zwei der nominierten Teams. Neben dem Preisträger-Team der SMT gehört auch ein Team der Zeiss Sparte Medical Technology zum „Kreis der Besten“. Die hochkarätige Jury wählt in einem mehrstufigen Prozess aus einer Vielzahl an Projekten jedes Jahr drei Forscherteams und ihre Innovation in diese Endrunde des Preises.
Quelle: Zeiss
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