Sensor-Chips

Liquid-Flow-Sensorik vereinfacht

Auf Basis planarer, mikrofluidischer Substrate hat der Schweizer Sensorhersteller Sensirion einen bedeutenden Schritt Richtung Miniaturisierung von nicht-invasiven Sensorlösungen für Flüssigkeitsdurchflüsse getan. Dank innovativer Aufbau- und Verbindungstechnik sind Sensirions hochsensitive, thermische Sensor-Chips in der Lage, mediengetrennt durch die Wand des im Substrat verlaufenden Kanals hindurch zu messen (US Pat. 6813944). Dieses Prinzip erlaubt hochempfindliche Flussmessungen sowie Luftblasenerkennung im Mikroliterbereich.

Ein kleiner, digitaler CMOSens® Mikrochip (2,2 x 3,5 mm) wird auf das mikrofluidische Substrat aufgebracht. Neben dem Sensorelement beinhaltet der Chip die komplette digitale Intelligenz sowie einen Speicher für die Linearisierung und Temperaturkompensation. Die elektrische Kontaktierung erfolgt über metallische Leiterbahnen auf der Oberfläche des mikrofluidischen Substrats. Die Sensoren zeigen Reaktionszeiten von lediglich ca. 30 ms und lassen sich mit Auflösungen bis hinunter zu 0,5 nl/min realisieren.

Aufbauend auf dieser Technologie werden kundenspezifische OEM-Lösungen für hohe Stückzahlen entwickelt.

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