Aerosolgenerator ATM 226

Prüfung und Validierung von Reinräumen

Ein wichtiges Anwendungsgebiet für die Aerosol- und Partikeltechnik ist die Prüfung und Validierung reinraumtechnischer Anlagen. Derartige Reinraumkonzepte dienen der Gewährleistung sicherer Arbeitsumgebungen und hoher Produktqualitäten. Deshalb müssen diese Anlagen regelmäßig auf ihre Funktionstüchtigkeit geprüft werden. Neben der notwendigen Sachkenntnis benötigt der Prüfer eine entsprechende Gerätetechnik, die den einschlägigen Normen und Richtlinien entspricht.

Die benötigte Prüftechnik beinhaltet gemäß der ISO 14644 Normanforderungen neben einem Aerosolgenerator zur Beaufschlagung des Prüfaerosols ein Verdünnungssystem, einen Partikelzähler sowie eine isokinetische Probennahmesonde.

Der Topas Aerosolgenerator ATM 226 wurde speziell für Abnahmemessungen entwickelt. Er zeichnet sich durch eine äußerst zeitstabile Aerosolerzeugung aus. Für DEHS, DOP und PAO werden Partikel im Größenbereich von 0,1...0,4 µm generiert. Die einstellbare Partikelproduktionsrate des ATM 226 ist für die Prüfung reinraumtechnischer Anlagen mit Filterflächen von 0,09...10 m2 geeignet.

Das Verdünnungssystem DIL 554 dient zur gezielten und reproduzierbaren rohgasseitigen Verdünnung des Testaerosols, um es auch mit einem Reinraum-Partikelzähler zu messen. Da dieses Verdünnungssystem nach einem geschlossenen Prinzip arbeitet, ist eine Zuführung zusätzlicher Druckluft als Verdünnungsmedium nicht notwendig. Damit fällt auch kein partikelbeladener Abluftstrom an, was für reinraumtechnische Abnahmemessungen entscheidend ist.

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Für den Filter-Integritätstest sowie zum Auffinden von Filterlecks hat sich die Verwendung rechteckiger Probennahmesonden bewährt. Diese gewährleisten gegenüber runden Sonden eine exaktere Probenahme, insbesondere im Randbereich und verkürzen geometriebedingt die Abscandauer.

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