Schnelle, simultane Elementanalytik

Neue Broschüre beschreibt Glimmentladungsspektrometer GD-OES Profiler

Das Glimmentladungsspektrometer GD-OES Profiler von Horiba Scientific bietet die schnelle, simultane Analyse von allen Elementen inklusive Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff, Fluor und Chlor in festen Proben. Es ist das ideale Analysegerät für die Charakterisierung von Oberflächen, dünnen Schichten und Tiefenprofilen.

Ausgestattet mit einer Radiofrequenzanregung, die pulsierend für zerbrechliche Proben betrieben werden kann, bietet das GD-OES Profiler einen breiten Anwendungsbereich von Studien über Korrosion bis hin zur PVD-Beschichtungskontrolle. Konzentrationen vom ppm-Bereich bis zu 100 % können in verschiedenen Schichten in den Proben gemessen werden.

Der neue patentierte UFS (Ultra Fast Sputtering) ermöglicht die Analyse von in Polymer eingekapselten metallischen Schichten. In dem abgebildeten Beispiel werden bis zu 70 µm dicke Polymer-Schichten innerhalb weniger Minuten abgesputtert und dann die circa 100 nm dünnen metallischen Schichten mit einer sehr guten Tiefenauflösung gemessen.

Das pulsierte RF GD-OES ist auch ideal für die schnelle Kontrolle der aktiven Schichten einer LED und bietet die Chance für die sofortige Reaktion bei Prozessdrift. 140 µm tiefe Krater können dank des gepulsten RF GD-OES im Glas ohne Wärmedämmung erreicht werden,

Das pulsierte RF GD-OES kann auch zur Probenvorbereitung für REM oder für das Electron BackScatter Diffraction (EBSD) benutzt werden, wofür die Probenvorbereitung entscheidend ist. An einem Beispiel mit Wolframcarbid wird der Vergleich zwischen einem spiegelartigen, mechanischen Polieren und einem standard-chemischen Polierverfahren (Dauer: 5 h) gezeigt. Dank des RF GD-OES benötigt man nur 3 s für die Vorbereitung

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Eine neue ausführliche Applikationsbroschüre kann kostenlos angefordert werden unter info-sci.de@horiba.com.

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